두꺼운 9 인치 웨이퍼 캘리브레이션 쿼츠 유리 판 고온

두꺼운 9인치 웨이퍼 보정 유리판은 반도체 웨이퍼 치수, 외관 및 평탄도 검사를 위해 설계된 정밀 광학 기준 기판입니다. 고투과성 융합 실리카 또는 알칼리 프리 붕규산 유리로 제조된 이 보정판은 표준 9인치 웨이퍼 치수에 맞춰지면서도 반복적인 검사 주기 동안 굽힘과 뒤틀림에 강한 맞춤형 두꺼운 구조를 제공합니다. 양면 초정밀 연마된 표면은 광학 등급의 평탄도와 평행도를 제공하여 자동 광학 검사 시스템에 안정적인 기하학적 기준선을 제공합니다. 전용 보정 기준으로, 이 판은 긴 생산 라인에서 측정 데이터가 일관되고 반복 가능하도록 보장하여 웨이퍼 제조, 리소그래피 정렬 및 광학 이미지 측정 응용 분야에 필수적인 도구입니다.

• 강성을 위한 두꺼운 구조: 강화된 판은 검사 중 뒤틀림과 변형을 방지하여 안정적이고 반복 가능한 보정 데이터를 제공합니다.
• 양면 초정밀 광학 연마: 표면은 긁힘, 구멍, 기포 및 돌이 없으며 광학 등급의 평탄도와 평행도를 갖습니다.
• UV에서 가시광선까지 균일한 고투과성: 고순도 기판은 산란광 간섭을 최소화하고 AOI 자동 광학 검사 장비와 완벽하게 호환됩니다.
• 낮은 열팽창 계수: 온도 변화에 따른 변형이 최소화되어 기준 기하학적 구조가 안정적으로 유지되며, 재질은 산 및 알칼리 세척 용액에 강합니다.
• 정밀 모따기 처리된 가장자리: 칩이 없는 가장자리는 취급 및 로딩 중 웨이퍼와 검사 렌즈를 긁힘으로부터 보호합니다.

두꺼운 9인치 웨이퍼 보정 유리판은 반도체 제조 및 검사 환경에서 다용도 광학 기준으로 사용됩니다. 9인치 실리콘 웨이퍼 치수 보정에 널리 사용되며, 측정 도구의 정확성을 검증하는 신뢰할 수 있는 기하학적 표준을 제공합니다. 웨이퍼 평탄도 검사에서 광학 등급 표면은 표면 균일성을 비교하고 편차를 감지하는 신뢰할 수 있는 기준선 역할을 합니다. 이 판은 또한 광학 이미지 측정 장비의 표준 캐리어로 기능하여 치수 분석 중 일관된 위치를 지원합니다. 리소그래피 장비에서는 패턴 등록을 정밀하게 유지하는 데 도움이 되는 정렬 보정판으로 작동합니다. 또한, 이 판은 웨이퍼 표면 결함 검사를 위한 고정 장치 베이스로 채택되어 자동 결함 감지 시스템에 평평하고 안정적이며 오염 없는 플랫폼을 제공합니다.

• 굽힘 방지 두꺼운 판: 강화된 구조는 장기간 대량 검사 중 기준 오프셋을 방지하여 교대 근무마다 보정 결과를 신뢰할 수 있게 유지합니다.
• 침전물 없는 고순도 재질: 깨끗한 기판은 오염 물질을 방출하지 않아 접촉 검사 중 웨이퍼를 오염으로부터 보호합니다.
• 완전 맞춤형 가능: 두께, 광학 코팅, 정렬 스케일 마킹, 슬롯팅 및 드릴링은 모두 고객 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
• 높은 단일 조각 일관성: 엄격한 제조 제어는 여러 검사 기계에서 동일한 성능으로 판을 상호 교환할 수 있도록 보장합니다.