| 재료 | 고순도 용융 실리카(SiO2 > 99.99%) | 형성 과정 | 일체형 열간 성형 |
|---|---|---|---|
| 최대 작동 온도 | 1100°C | 내화학성 | HF, 강산 및 알칼리, 유기용제 |
| 열 팽창 | CTE 5.5 x 10^-7 /°C(낮음) | 표면 마감 | 미세 광택 처리된 부드러운 가장자리 |
| 청정 | 금속 이온 침전 없음 | 애플리케이션 | 관상로 소결, 반도체 소둔, 실험실 Ashing, 신소재 연구개발 |
| 강조하다 | 고순도 녹인 실리카 보트,종합형 쿼츠 보트,반도체 반열 트레이를 위한 쿼츠 보트 |
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제품 개요
의고 순수성 녹은 실리카 쿼츠 보트튜브 오븐 시너지, 반도체 가공 및 실험실 열용 용도로 설계된 정밀형 고온 운반체입니다.일률적인 벽 두께와 세밀하게 닦은 표면을 위해 온실 열형으로 제조, 1100°C까지 뛰어난 열 안정성, 염화수소 및 농축성 부식 반응기에 대한 뛰어난 화학 저항성을 제공합니다.가장 까다로운 산업 및 연구 환경에 오염이없는 처리를 보장합니다..
주요 특징
- 온화형식 통합:일부분의 건축물 은 벽 두께 가 균일 하고 구조적 완전성 을 보장 하며, 약한 관절 이나 매듭 을 제거 한다
- 1100°C 고온 저항성:튜브 오븐에서 장기간 고온 작동 하에서 차원 안정성과 기계적 강도를 유지
- HF 및 강한 화학 저항성:염화수산, 농축산, 강한 알칼리 및 유기 용매에 대한 뛰어난 화학 내구성
- 우수한 열 충격 안정성낮은 열 팽창 계수 (CTE 5.5 x 10^-7/°C) 는 빠른 난방-냉각 주기에 균열을 방지한다
- 무순물 강수:SiO2 > 99.99% 순수성 은 금속 이온 가출을 보장 하지 않으며 웨이퍼와 샘플 무결성을 보호 합니다
- 정밀 마감:표면은 표준화 된 크기, 부드러운 가장자리 및 안전한 샘플 취급을 위해 칩링이 없습니다.
신청서
| 산업 | 적용 |
|---|---|
| 튜브 오븐 시너싱 | 제어 대기의 튜브 오븐에서 파우더, 웨이퍼 및 세라믹 기판의 고온 연료를 위한 수송기 |
| 반도체 처리 | 고온 전처리 트레이와 오프레 굽기 및 전면 코팅, 극정 깨끗하고 오염 없는 조건을 보장합니다. |
| 실험실 검사 | 애쉬링 실험 및 분석 화학 및 재료 특성화를 위한 부식성 침수 샘플 컨테이너 |
| 신소재 연구 개발 | 첨단 재료 개발을 위한 분말 합성 및 전초 물질 열처리 용기 |
경쟁적 장점
보로실리케이트 유리 보트:보로실리케이트 유리는 염화수소를 견딜 수 없으며 높은 온도에서 부드러워집니다.이 쿼츠 배는 강한 진열에 저항하고 변형 또는 균열없이 반복 1100 ° C 열 사이클을 통해 기계적 무결성을 유지
알루미나/세라믹 보트:우수한 열 충격 저항은 빠른 난방-냉각을 가능하게 한다. 투명한 벽은 시각적인 프로세스 모니터링을 가능하게 한다. 금속 불순물이 없으므로 웨이퍼와 샘플 오염 위험이 제거된다.
사양
| 매개 변수 | 가치 |
|---|---|
| 소재 | 고순도 분해 실리콘 (SiO2> 99.99%) |
| 형성 과정 | 통합 열형 |
| 최대 작동 온도 | 1100°C |
| 화학물질 저항성 | HF, 강한 산과 알칼리, 유기 용매 |
| 열 확장 | CTE 5.5 x 10^-7 /°C (하위) |
| 표면 마감 | 얇고 부드러운 가장자리 |
| 순수성 | 금속 이온 비가 없다 |

