반도체 웨이퍼 광학 렌즈 코팅용 얕은 홈 유리 흡입 척 265x9mm 진공 유지 플레이트
| 재료 | 유리 / 석영 유리 | 치수 | Φ265mm x 9mm |
|---|---|---|---|
| 그루브 유형 | 정밀하게 형성된 얕은 홈 | 평탄 | 우수한 평탄도 |
| 기밀성 | 우수한 진공 밀봉 | 내화학성 | 중간 정도의 산 및 알칼리 저항성 |
| 강조하다 | 얇은 갈라진 유리 흡수 척,265x9mm 진공 보유판,반도체 웨이퍼 진공 척 |
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얕은 홈 유리 흡입 척 Φ265x9mm 진공 고정 플레이트
Φ265x9mm 크기의 이 얕은 홈 유리 흡입 척은 균일한 진공 분포를 위해 정밀하게 형성된 얕은 홈 패턴이 특징입니다. 뛰어난 평탄도, 우수한 기밀성, 높은 투과율로 반도체 웨이퍼, 광학 렌즈 가공, 자동화 유리 제조 및 실험실 정밀 테스트 응용 분야에서 안정적인 진공 유지를 제공합니다.
제품 매개변수
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 재료 | 유리 / 석영 유리 |
| 치수 | Φ265mm x 9mm |
| 그루브 유형 | 정밀하게 형성된 얕은 홈 |
| 평탄 | 우수한 평탄도 |
| 기밀성 | 우수한 진공 밀봉 |
| 투과율 | 높은 투과율 |
| 내화학성 | 중간 정도의 산 및 알칼리 저항성 |
| 내마모성 | 내구성이 뛰어난 표면, 긴 서비스 수명 |
주요 특징
- 정밀한 얕은 홈 디자인– 정밀하게 형성된 얕은 홈 패턴은 척 표면 전체에 균일한 진공 공기 분포를 보장하여 안정적이고 균형 잡힌 공작물 고정을 보장합니다.
- 우수한 평탄도– 평탄도가 뛰어난 정밀 연삭면은 진공 유지 및 가공 작업 시 공작물 뒤틀림 및 가장자리 들림을 방지합니다.
- 우수한 기밀성– 고품질 진공 밀봉 성능은 5/6/8인치 웨이퍼 및 광학 부품의 안정적인 흡착을 위해 일관된 음압을 유지합니다.
- 마모 및 내화학성– 내구성이 뛰어난 유리 표면은 연삭액 및 절삭유 부식을 방지하며 플라스틱 대체품에 비해 수명이 연장되는 노화 방지 특성을 갖추고 있습니다.
- 높은 투과율– 투명 유리 구조로 진공 처리 작업 중 육안 검사 및 광학 정렬이 가능합니다.
응용
1. 반도체 산업
웨이퍼 다이싱, 코팅 및 이송 작업을 위한 진공 척입니다. 얕은 홈은 5/6/8인치 웨이퍼의 안정적인 흡착을 위해 균일한 공기 분포를 제공하여 실리콘 웨이퍼 긁힘 및 손상을 방지합니다.
2. 광학 부품 가공
광학 유리 및 렌즈 연삭 및 코팅 공정을 위한 진공 캐리어 척으로 균일한 부압을 적용하여 정밀 가공 중 공작물 가장자리 뒤틀림 및 변형을 방지합니다.
3. 자동화된 유리 심층 가공
안정적인 생산 라인 작동을 위해 절삭유 부식에 강한 광전지 유리 및 커버 유리 절단 및 스크린 인쇄 스테이션용 진공 포지셔닝 척입니다.
4. 실험실 정밀 테스트
안정적인 샘플 위치 지정으로 스펙트럼 분석 및 광 투과 측정을 위해 밀봉된 음압 유지 기능을 제공하는 광학 샘플 테스트용 진공 고정 베이스입니다.
수지/플라스틱 흡입 플레이트에 비해 장점
플라스틱 수지 흡착 플레이트와 비교하여 이 유리 척은 우수한 치수 정밀도, 변형이나 노화가 없는 고온 저항, 연삭 유체 및 약산 세척에 대한 탁월한 저항성, 내마모성 표면을 제공하여 훨씬 긴 수명을 제공하므로 반도체 및 광학 제조의 고정밀 진공 흡착 공정에서 선호되는 선택입니다.

