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표준 차원 쿼츠 유리 장 9 인치 웨이퍼에 대한 초고 평면
| 원래 장소 | 중국 |
|---|---|
| 모델 번호 | QGS-9IN-WC |
| 가격 | negotiable |
| 지불 조건 | T/T, L/C, 페이팔, 웨스턴 유니온 |
제품 상세 정보
| 재료 | 석영 유리 | 호환 웨이퍼 크기 | 9 인치 |
|---|---|---|---|
| 평탄 | 초고정밀 | 용인 | 단단한 치수 허용차 |
| 표면 마감 | 정밀 광택 | 스트레스 수준 | 낮은 내부 응력 |
| 애플리케이션 | 반도체 웨이퍼 교정, 리소그래피, 프로버, 광학 장비 | ||
| 강조하다 | 표준 크기의 쿼츠 유리 장,초고 평면성 쿼츠 유리판,9 인치 웨이퍼 쿼츠 유리 판 |
||
제품 설명
9인치 웨이퍼 캘리브레이션 초고 평면성 쿼츠 유리 장
이 9인치 웨이퍼 캘리브레이션 쿼츠 유리판은 고밀도의 반도체 장비 캘리브레이션 표준입니다.그것은 리토그래피에서 매일 장비 검증을 위해 표준 9 인치 웨이퍼 사양에 일치합니다., 탐사기, AOI 검사 및 광학 측정 응용 프로그램.
제품 매개 변수
| 매개 변수 | 사양 |
|---|---|
| 소재 | 쿼츠 유리 |
| 호환되는 웨이퍼 크기 | 9인치 |
| 평면성 | 극도로 높은 정확성 |
| 차원 허용 | 제한적 인 관용 |
| 표면 마감 | 정밀 닦은 |
| 광학적 특성 | 균일 하고 낮은 스트레스 |
| 열 안정성 | 최소 열 변형 |
| 화학물질 저항성 | 일반 화학 청소에 내성 |
| 차원 안정성 | 장기간 반복적으로 사용 할 수 있는 안정성 |
주요 특징
- 극도로 높은 평면성매우 단단한 평면성 허용으로 정밀하게 닦은 표면으로 반도체 장비에 대한 신뢰할 수있는 캘리브레이션 결과를 보장합니다.
- 균일 광학적 특성전체 판 표면에 걸쳐 일관된 광적 전송, AOI 및 시각 기반 검사 시스템 캘리브레이션에 이상적입니다.
- 낮은 내적 스트레스최소 열 변형 및 스트레스로 인한 변형, 다양한 환경 조건에서 차원 안정성을 유지합니다.
- 화학 청소 저항성표준 반도체 청소 용매에 저항하며 반복적인 청소 주기로 표면 품질을 유지합니다.
- 장기적 안정성- 시간이 지남에 따라 정확도가 떨어지지 않고 반복적인 일상 사용에 설계된 전용 캘리브레이션 표준
신청서
1반도체 웨이퍼 검사
9인치 웨이퍼 차원, 평면성 및 워크 검사를 위한 기본 기준판. 웨이퍼 AOI 광 검사 장비에 대한 일일 캘리브레이션 표준으로 사용됩니다.생산 라인을 통한 검출 정확성 통합.
2리토그래피 및 포장 과정
리토그래피 기계 및 도어 접착기 위한 정렬 기준. 장비 렌즈 초점 및 플랫폼 위치 정확성의 규칙적인 캘리브레이션은 생산 결함을 줄이고 출력 일관성을 향상시킵니다.
3탐사기 시험 장비
프로버 스테이션 좌표 캘리브레이션 및 플랫폼 평면성 검증에 대한 참조 판, 반도체 제조에서 정확한 웨이퍼 전기 테스트 정확성을 보장합니다.
4광학 실험실 캘리브레이션
시야 측정 기계 및 윤곽 검사기용 표준 캘리브레이션 유리, 측정 연구소에서 기기 정밀성 확인을 위해 사용됩니다.
일반 유리 및 일반 쿼츠 엽에 비해 장점
일반 유리판과 일반적인 쿼츠 판과는 달리, 이 캘리브레이션 등급 쿼츠 유리판은 엄격히 통제된 평면성 허용과 함께 정밀하게 닦은 표면을 갖추고 있습니다.그것은 최소한의 열 변형을 나타내며 반복적인 화학 청소 후 안정적인 정밀도를 유지합니다, 반도체 생산 환경에 특별히 설계된 산업 표준 캘리브레이션 부품.
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