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5 인치 반도체 웨이퍼 장비 교정을 위한 5개의 구멍 127x127x3mm 석영 유리 판
| 원래 장소 | 중국 |
|---|---|
| 모델 번호 | QGP-5H-127 |
| 가격 | negotiable |
| 지불 조건 | T/T, L/C, 페이팔, 웨스턴 유니온 |
제품 상세 정보
| 재료 | 석영 유리 | 치수 | 127mm x 127mm x 3mm |
|---|---|---|---|
| 구멍 수 | 5 | 호환 웨이퍼 크기 | 5인치 |
| 평탄 | 초고정밀 | 홀 공차 | 엄밀 허용 편차 |
| 표면 마감 | 양면 정밀 광택 | 애플리케이션 | 반도체 웨이퍼 교정, Prober, AOI, Die Bonder |
| 강조하다 | 127x127x3mm 쿼츠 유리판,5홀 쿼츠 유리판,5인치 웨이퍼 캘리브레이션 판 |
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제품 설명
5인치 웨이퍼 교정용 구멍 5개 석영 유리판 127x127x3mm
이 5홀 석영 유리 교정 플레이트는 고정밀 반도체 장비 교정 도구입니다. 127x127x3mm 크기와 정밀 가공된 위치 지정 구멍 5개를 갖춘 이 제품은 프로버, AOI, 다이 본더 및 광학 계측 응용 분야 전반에 걸쳐 일일 장비 검증 및 교정을 위한 표준 5인치 웨이퍼 사양과 일치합니다.
제품 매개변수
| 매개변수 | 사양 |
|---|---|
| 재료 | 석영 유리 |
| 치수 | 127mm x 127mm x 3mm |
| 구멍 수 | 5 |
| 호환 가능한 웨이퍼 크기 | 5인치 |
| 평탄 | 초고정도 |
| 홀 공차 | 엄격한 공차, 정밀 보어 |
| 표면 마감 | 양면 정밀 광택 |
| 스트레스 수준 | 낮은 스트레스 |
| 내화학성 | 반도체 세정 내용제성 |
| 치수 안정성 | 장기간 재사용을 위한 안정적인 정밀도 |
주요 특징
- 5개의 정확한 위치 결정 구멍– 장비 좌표 교정을 위한 공차가 엄격한 5개의 위치 지정 구멍으로 일일 실리콘 웨이퍼 검증을 대체합니다.
- 매우 높은 평탄도– 일관된 교정 정확도를 위해 열 변형을 최소화한 양면 정밀 연마 표면.
- 화학적 세척 저항성– 표준 반도체 세정 용제에 대한 내성이 있어 반복적인 세정 주기 후에도 치수 안정성을 유지합니다.
- 광학적 균일성– 낮은 응력 석영 유리는 AOI 및 비전 검사 시스템에 대한 균일한 광학 전송을 보장합니다.
- 장기적인 안정성– 반도체 산업 전용 교정 표준으로 설계되어 장기간 반복 사용에도 안정적인 정밀도를 제공합니다.
응용
1. 반도체 웨이퍼 검사
5인치 웨이퍼 평탄도 및 치수 확인을 위한 마스터 교정 플레이트입니다. 5개의 위치 지정 구멍을 통해 일상적인 장비 좌표 교정이 가능하며 표준 실리콘 웨이퍼 검사점 루틴을 대체합니다. 렌즈 초점 및 인식 정확도 교정을 위한 AOI 광학 검사 참조 플레이트입니다.
2. 포장 및 프로빙 프로세스
5개 구멍 레이아웃을 통한 프로브 위치 확인 및 플랫폼 평탄도 검사를 위한 프로버 스테이션 위치 지정 참조 플레이트입니다. 다이 본더 및 배치 기계 정렬 교정, 기계적 고정 장치 위치 편차 수정.
3. 광학 계측 연구실
일반 장비 측정 정확도 검증에 사용되는 비전 측정기 및 윤곽 테스터용 표준 교정 플레이트입니다.
4. 자동화된 생산 라인 고정 장치 교정
생산 환경에서 변형 없이 반복적인 세척을 위해 설계된 반도체 자동화 장비 툴링 교정 표준입니다.
일반 유리에 비해 장점
일반 유리판과 달리 이 석영 유리 교정판은 표면 변형이 매우 적은 양면 정밀 연마 기능을 갖추고 있습니다. 5개 구멍 동축도와 보어 직경은 엄격한 공차 내에서 엄격하게 제어됩니다. 반도체 표준 세척 화학물질에 대한 내성이 있어 장기간 반복 사용해도 안정적인 정밀도를 제공하므로 반도체 응용 분야의 업계 표준 교정 부품이 됩니다.
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