반도체 산업 장비에서는 1000°C에서 1300°C까지의 높은 온도에서 융합된 실리카 유리를 자주 사용합니다. 그러한 조건 하에서,불순물의 접착으로 인해 비트리화가 발생합니다.비트리화 된 부분은 녹은 실리카의 결정화된 영역이며, 결정화점은 275°C입니다.녹아있는 실리카 유리가 높은 온도에서 이 변환 온도로 냉각되면, 표면의 결정화 된 비염층은 녹아있는 실리카 유리 자체의 고온 α-화상과 저온 β-화상과 다른 열 팽창 계수를 가지고 있습니다.이것은 불투명한급속한 냉각으로 껍질이 벗겨지는 모습; 더 심한 경우 균열이 발생할 수 있습니다.
용해 된 실리카 제품의 사용 수명을 연장하기 위해서는 디비트리피케이션의 원인을 예방하는 것이 중요합니다. 디비트리피케이션을 유발하는 주요 오염 물질은 알칼리 금속,알칼리 지구 금속땀, 침, 기름 얼룩, 먼지 등 0.1mg/cm2의 오염 수준조차도 비트리피케이션의 10배 또는 100배 증가로 이어질 수 있습니다.이러한 오염 물질이 녹은 실리카 표면에 붙지 않도록, 맨손으로 직접적인 취급을 피해야 합니다. 또한, 녹은 실리카의 표면 청결을 보장하기 위해 고온 작업 전에 철저한 청소가 수행되어야 합니다.
용해 된 실리카의 일반 청소는 정해진 절차를 따르고 있습니다. 먼저 순수한 물로 표면을 씻고, 특정 기간 동안 산성 목욕탕에 담아내고, 제거하고, 순수한 물로 다시 씻습니다.그리고 마지막으로 공기 건조산성 용액의 종류는 다음과 같습니다.
| 카테고리/목적 | 농도 | 시간 |
|---|---|---|
| 염화수소 (HF) | 470.0% ~ 52.0% | 1~2분 |
| 염화수소 (HF) | 50.0% ~ 10% | 10~15분 |
| 염화수산 + 질소산 | 50% + 65% | 10~15분 |
| 플루오화수산 + 황산 | 50% + 65% | 10~15분 |